氧化钒薄膜制备方法专利技术分析

作者：原霞; 王衍强

来源：云南化工, 2019, 46(05): 144-145.

• 氧化钒薄膜
• 磁控溅射

氧化钒由于其独特的光电性能在红外探测器、光电调节器、智能窗、光存储及传感器等应用领域备受关注。对制备氧化钒薄膜采用的专利技术进行了梳理,对日后氧化钒薄膜的制备及性能优化具有很好的指导意义。

• 单位
  国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心