平面电极型MEMS电化学地震传感器

作者：王军波; 龚黎明; 陈德勇; 何文涛; 王鹏; 陈健

来源：光学精密工程, 2015, 23(03): 769-775.

• 微机电系统
• 电化学地震传感器
• 平面电极
• 低频震动检测

针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试。实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展到了30Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1Hz处的噪声低于120dB。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所