高纯度稀土金属镱靶材实现国产化

来源：中国有色冶金, 2023, 52(02): 115.

<正>目前，包头稀土研究院已建成国际领先的OLED用高纯度金属镱靶材产品生产线，产能约10吨/年，突破了高纯度金属镱蒸镀材料的低成本、高效率、高品质制备工艺技术，既解决了高纯稀土金属关键材料制备技术难题，又提升了我国在高纯稀土金属材料研发方面的国际地位，经济、社会效益显著。该高纯稀土金属镱靶材产品应用于显示屏的金属阴极层，可替代镁/银阴极，降低能耗，解决屏幕折叠问题。稀土靶材，又称镀膜靶材，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。