四甲基氢氧化铵溶液中阴离子含量检测方法

作者：高一鸣; 郝萍; 李春华

来源：上海计量测试, 2022, 49(05): 17-19.

• 四甲基氢氧化铵
• 离子色谱
• 无机阴离子

提出了一种对低浓度四甲基氢氧化铵溶液中氟离子、氯离子、溴离子、亚硝酸根离子、硝酸根离子、硫酸根离子和磷酸根离子含量的检测方法。TMAH溶液稀释质量浓度为2.38%，经在线浓缩处理，离子色谱仪检测，该方法六种阴离子的检出限21～109 ng/L，定量限70～360 ng/L，线性相关系数>0.999,5.0μg/L加标回收率98%～128%。该方法对TMAH溶液中常见的六种阴离子组分检测结果良好，可满足半导体及面板行业用TMAH溶液的检测需求。

• 单位
  上海市计量测试技术研究院