四光束干涉单次曝光构造含平面缺陷三维周期性微纳结构

作者：陈小军; 张自丽; 葛辉良

来源：Acta Physica Sinica, 2012, (17): 308-313.

• 光子晶体
• 四光束干涉
• 平面缺陷
• 红外反射光谱 photonic crystal
• multi-beam interference
• infrared spectrum

本文使用多光束干涉方法构造三维周期性微纳结构.通过多次匀胶与单次曝光结合,在负光刻胶SU8上刻蚀出含平面缺陷的类金刚石结构(fcc-like)光子晶体.扫描电子显微镜(SEM)观测显示,相比无缺陷光子晶体结构,该结构在(111)晶面上存在清晰可见的平面缺陷.通过控制匀胶时的转速,可以精确控制平面缺陷厚度在适合的范围.傅里叶红外反射光谱测试显示完整周期微纳结构在(111)方向上有明显的特征峰,两个特征反射峰中心波长接近1.2μm和2.4μm.含缺陷的结构则在反射光谱特征峰中掺入了明显的凹陷,并且随着平面缺陷的厚度增大,缺陷模从处于2.4μm禁带移至1.2μm禁带处.提取SEM图中的结构参数,用F...

• 单位
  香港科技大学