NSR2205I14型光刻机对准方式分析

作者：宛文峰

来源：设备管理与维修, 2018, (11): 99-100.

DOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2018.06.51

• 光刻机
• 对准系统
• 对准方式

对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,NSR2205I14E2型光刻机的对准方式包括LSA和FIA,分析LSA与FIA的对准方式原理,比较各自的硬件结构以及对应功能。了解这些知识将对设备维护、降低对准报错率,提高套刻精度等有着重要帮助。