基于蓝绿光Micro-LED的可见光通信芯片调制带宽研究

作者：王轩; 陶涛^*; 刘斌^*; 许非凡; 梁师豪; 苗涛; 刘晓燕; 智婷; 谢自力; 张荣; 郑有炓

来源：半导体光电, 2021, 42(04): 469-487.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2021.04.004

• 可见光通信(VLC)
• Micro-LED
• 调制带宽
• 氮化镓

基于氮化镓微米LED(Micro-LED)的可见光通信(Visible Light Communication,VLC)技术成为近年来的研究热点。通过深紫外光刻技术制备了小尺寸的氮化镓基蓝/绿光Micro-LED芯片,深入研究了40～10μm不同尺寸Micro-LED器件的性能,以及其作为VLC光源的调制带宽能力。研究发现,随着LED器件尺寸的缩小,其调制带宽显著增加。通过在电极间加入电磁屏障以及对LED器件侧壁进行钝化修复,直径为10μm的绿光Micro-LED亮度可达1×108 cd/m2,直径为20μm的蓝光Micro-LED的调制带宽可达372.6MHz。研究结果表明,基于氮化镓的Micro-LED芯片在调制带宽上仍有较大的提升空间,经过进一步的研究,有望推动高速可见光通信的系统应用。

• 单位
  南京邮电大学; 厦门大学; 南京大学