微机电系统加速度计辐射效应

作者：刘珉强; 杜川华^*; 许蔚; 朱小锋; 许献国

来源：太赫兹科学与电子信息学报, 2021, 19(01): 162-169.

• 微机电系统加速度计
• 辐射效应
• 辐射加固

综述了微机电系统(MEMS)加速度计辐照效应与辐照机理国内外现状,阐释了其加固技术研究的必要性。介绍了不同类型MEMS加速度计的辐射敏感性及材料的辐射退化机理、不同材料的辐射损伤表现及硅材料的辐射效应;重点分析了MEMS加速度计国内外辐照试验研究,最后给出了MEMS加速度计辐射加固研究方向的建议。

• 单位
  中国工程物理研究院电子工程研究所