摘要

随着我国半导体、微电子行业的发展,尤其是芯片制造业的快速发展,对洁净厂房的设计和施工提出了更高的要求。而管道的选择和施工很大程度上决定了厂房的品质和电子产品的质量。文章对当前电子厂房设计中常见塑料管材的选用,以及管道设计时的工艺进行了一些分析,期望为电子厂房中管道的选用及施工提供参考。

  • 单位
    中国电子工程设计院

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