电子级3-乙氧基丙酸乙酯的提纯制备

作者：杨长青; 邹德强; 王大松; 马群

来源：化学试剂, 2022, 44(12): 1782-1788.

DOI：10.13822/j.cnki.hxsj.2022.0315

• 电子级3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)
• 提纯
• 分子筛
• 离子交换
• 精馏
• 液泛

电子级3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)是集成电路(IC)和液晶面板(LCD)行业必须的清洗剂和溶剂。着重研究适合大规模生产的电子级EEP的提纯工艺，实验采用工业级EEP为原料，使用吸附、离子交换、反应精馏等工艺进行提纯，产品满足电子级3-乙氧基丙酸乙酯SEMI G3指标要求。分析3-乙氧基丙酸乙酯的分解原因和精馏液泛的原因，通过改变交换基来减少EEP的分解，通过计算对液泛速度和塔径进行修正，解决液泛问题。