制备ITO靶材的探索

作者：张越举; 李晓杰; 孙贵磊; 陈涛; 王小红

来源：真空, 2005, (06): 31-36.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2005.06.008

• ITO
• 爆炸压实
• 纳米粉末
• 理论探索
• 膨胀系数 ITO
• explosive compaction
• nano-powders
• theoretical exploration
• expansion factor

ITO的用途越来越广泛。研究并且制备ITO靶材具有相当的战略意义。本文概述了ITO玻璃的用途和ITO膜的镀制方法,对目前国内ITO靶材加工和研究的现状进行了调查,提出了用爆炸方法压实ITO纳米粉末并附加烧结的工艺生产靶材的途径。借助粉末的压实理论,对粉末的爆炸压实进行了理论探索。并通过初步实验证实了爆炸法的可行性。

• 单位
  工业装备结构分析国家重点实验室; 大连理工大学