含Nb氮化物硬质膜的研究现状及展望

作者：苏富斌; 张钧^*; 王晓阳; 钱春晖; 陈磊

来源：材料保护, 2022, 55(09): 134-166.

DOI：10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0258

• TiNbN硬质膜
• TiAlNbN硬质膜
• 硬度
• 耐磨性

针对现有的TiNbN硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、结合力、耐磨性等组织性能方面进行了分析概述。针对TiAlNbN硬质膜的硬度、耐磨性、抗热震性能等力学性能进行了总结，并对TiAlNbN硬质膜的发展进行了展望。

• 单位
  沈阳大学