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摘要
基于固体波动陀螺灵敏度高、可靠性好、动态范围宽等突出优点，本文研究了一种全新的高灵敏度电容式微机电环形波动陀螺。首先设计了微机电环形波动陀螺的敏感结构与整体结构，并分析了工作特性与敏感原理；其次建立了环形敏感结构的灵敏度数值模型，分析了灵敏度与主要设计参数的关系；最后对环形敏感结构进行了模态仿真、静电驱动分析、灵敏度分析与极限位移分析，得到了该微机电环形波动陀螺的谐振频率为6.036 0 kHz,在2.906 8μm的驱动激励下机械灵敏度为0.003 6μm/°,最大静态应力为19.82 MPa。分析结果表明该陀螺敏感结构设计合理，能够实现高灵敏度的角速度敏感，为进一步研制高灵敏度MEMS陀螺奠定了基础。
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