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摘要
随着激光技术的不断发展，激光的应用也越来越广泛，但是在半导体光刻、激光印刷、激光加工、光学信息处理等领域中，都对激光光束的均匀性有着一定的要求。然而激光器谐振腔输出的光束呈高斯分布，这一特性使其往往不能被直接使用，需要通过光束整形来提高均匀性，以满足应用的需求。本文从光学系统的特性出发，总结归纳了当前主要的三种激光光束整形技术，包括光阑法、场映射器法和多孔径光束聚焦法，分别介绍了三种激光光束整形技术的基本原理、应用范围和主要实现方法，阐述了不同激光光束整形方法的典型应用和研究进展，最后，综合讨论了激光光束整形技术目前所面临的问题及未来的发展方向。这对激光光束整形技术的研究具有一定的参考意义。
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单位中国科学院微电子研究所; 中国科学院大学; 北京积水潭医院
