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摘要
随着超尖端灯丝制作工艺的突破，气态场离子源技术得到了前所未有的发展，依托该技术成型的氦离子显微镜弥补了传统聚焦离子束的不足，将材料加工推进到纳米尺度，同时基于其轻质离子源的特性，实现在无镀层条件下的高分辨成像。本文对氦离子显微镜的原理进行了简单阐述，举例介绍了氦离子显微镜在高分辨成像、微纳尺度加工以及氦离子原位辐照等方面的最新进展。
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随着超尖端灯丝制作工艺的突破，气态场离子源技术得到了前所未有的发展，依托该技术成型的氦离子显微镜弥补了传统聚焦离子束的不足，将材料加工推进到纳米尺度，同时基于其轻质离子源的特性，实现在无镀层条件下的高分辨成像。本文对氦离子显微镜的原理进行了简单阐述，举例介绍了氦离子显微镜在高分辨成像、微纳尺度加工以及氦离子原位辐照等方面的最新进展。
