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摘要
本发明公开了一种用于柱状偏振光的生成与聚焦的微球透镜,所述微球透镜的表面刻有准周期性的亚波长光栅结构；其中,亚波长光栅结构处于入射光照射的半球表面,但不覆盖中心区域；光栅结构的周期小于入射光波长；光栅为曲线,且光栅槽宽逐渐变化；光栅的光栅矢量由球面位置来确定,即光栅矢量与光栅在球面上的方位以及光栅与中心点的距离有关；光栅的刻蚀深度为百纳米量级。本发明微球透镜除具有光学聚焦功能外,还能够生成任意角度的柱状偏振光,实现中空的聚焦光斑,即光束中心强度为零；可广泛应用于光镊、光刻、光学微加工和光学超分辨等技术领域,结合现有的光学显微镜系统,可实现对微纳粒子的三维自由操作。
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