纳米半导体材料与器件研发制造工艺技术

作者：孟雪琴; 易丹

来源：热固性树脂, 2023, 38(02): 73.

DOI：10.13650/j.cnki.rgxsz.2023.02.018

<正>半导体材料与器件是构建现代科技大厦的重要基石之一,其应用价值基本涵盖所有涉及精密仪器的领域,如航天设备、5G通讯、光伏材料、人工智能等,如何创新半导体材料研发技术与半导体器件制造工艺,已经成为我国“新基建”背景下值得高度关注的课题。纳米技术赋予半导体材料及器件独特的性质,同时开启了半导体材料及器件“量子尺寸效应”的应用时代,以纳米半导体材料及器件为探索目标,将极大地促进量子物理、材料化学、微电子学等学科的交叉融合,

• 单位
  北京吉利学院; 电子科技大学成都学院