双层异质结碲镉汞甚长波红外焦平面探测器研究进展

作者：谭振; 刘世光; 田震; 宋淑芳; 吴卿; 周立庆

来源：红外, 2020, 41(04): 1-7.

• 双层异质结
• 甚长波红外
• 碲镉汞
• 红外焦平面探测器

报道了碲镉汞甚长波红外焦平面探测器的最新研究进展。采用水平液相外延In掺杂和垂直液相外延As掺杂技术生长了p-on-n异质结材料。基于湿法腐蚀、表侧壁钝化以及In柱互连工艺,制备了第一支台面型碲镉汞甚长波红外焦平面器件。在60K的工作温度下,该器件的截止波长为14.28 μm,有效像元率为94.5%,平均峰值探测率为8.98×1010cm·Hz1/2·W-1。

• 单位
  华北光电技术研究所