IGCT器件的光刻技术

作者：戴小平; 熊红云

来源：半导体技术, 2007, (6): 470-473.

DOI：10.3969/j.issn.1003-353X.2007.06.003

• 集成门极换流晶闸管器件
• 光刻
• 废条率

主要介绍了集成门极换流晶闸管(IGCT)的光刻技术.IGCT器件的光刻次数多,精度要求高,如何保证光刻质量是关键.根据IGCT光刻的特点,从光刻机的性能、光刻胶的选用以及刻蚀工艺改进着手,进行了大量的研究工作,较好地保证了IGCT的光刻质量,使芯片梳条废条率低于万分之二,促成了IGCT器件的研制成功.

• 单位
  中南大学; 株洲南车时代电气股份有限公司