梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响

作者：乔大勇; 杨璇; 夏长锋; 曾琪; 潘春晖; 练彬

来源：传感技术学报, 2014, 27(02): 172-177.

DOI：10.3969/j.issn.1004-1699.2014.02.005

• MEMS
• 扫描镜
• 非线性动力学
• 梳齿分布
• 大转角

为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。

• 单位
  西北工业大学; 西北工业大学深圳研究院