水溶液法制备图案化TiO_2薄膜

作者：梁山; 薛群基; 崔玉红; 赵占芬

来源：Acta Physico - Chimica Sinica, 2010, (02): 502-506.

• TiO2
• 硫酸钛
• 过氧硫酸钛
• 图案化
• 化学浴沉积
• 电沉积 TiO2
• Titanium sulfate
• Peroxotitanium sulfate
• Patterning
• Chemical bath deposition
• Eletrodeposition

从硫酸钛Ti(SO4)2的水溶液出发,采用化学浴沉积和电沉积法来制备图案化TiO2薄膜.通过硫酸和双氧水来稳定Ti4+,配制了pH=1.0的硫酸钛溶液和pH=1.6的过氧硫酸钛溶液.结合微接触印刷术在硅基底上制得自组装膜预图案,再化学浴沉积TiO2即可得规则图纹.无机配体对钛溶液的稳定性和TiO2的晶型均有影响,溶液的酸度关系到所得图案的质量.过氧硫酸钛溶液同样适用于电沉积,在导电玻璃基底上旋涂光刻胶后选择性曝光、显影,通过控制阴极电位可获得高差达200nm的清晰图案.

• 单位
  天津科技大学; 中国科学院兰州化学物理研究所; 固体润滑国家重点实验室