双向低触发电压横向晶闸管放电管研究

作者：蒋刚; 邓旭聪; 赵明

来源：人工晶体学报, 2021, 50(02): 353-360.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2021.02.019

• 双向
• 低触发电压
• 横向晶闸管
• 放电管
• 触发特性
• 电参数

依据触发电压VS、触发电流IS、维持电流IH及触发电压、维持电流高低温变化率指标要求,利用Silvaco-TCAD半导体器件仿真软件完成了双向低触发电压横向晶闸管(SCR)放电管的设计。详细分析了对触发特性产生显著影响的结构参数(N-衬底区、寄生PNP晶体管P-集电区、寄生NPN晶体管P-基区、N+阴极区、N+触发区、寄生PNP晶体管P-集电区与寄生NPN晶体管P-基区间距、寄生NPN晶体管表面基区宽度)对器件输出I-V特性及抗瞬态电流烧毁能力的影响。根据设计得到的器件结构参数,绘制版图、制定双向低触发电压横向SCR放电管工艺方案并进行试制。通过实际流片,对关键的设计及工艺进行攻关,研制出样片触发电压VS、触发电流IS、维持电流IH及触发电压、维持电流高低温变化率完全满足电参数指标要求。

• 单位
  四川大学