小规模6英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制

作者：唐代飞; 刘扬洪

来源：科技创新与应用, 2017, (11): 71.

• 特气系统
• 质量控制
• 管理与维护

文章介绍了6英寸小规模科研生产线特气系统的系统组成,对日常特气系统的维护进行了分析与阐述,同时对特气系统的质量控制做了简要的分析。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十四研究所