ICF中终端光学组件的调焦机构作用是调整聚焦透镜的位置使激光准确地聚焦在靶点上。调焦机构的变形会使靶镜的位姿发生变化,从而导致光束的落点发生变化。本文介绍了调焦机构的结构特点,通过简化模型法分析其在真空负压、重力下的变形与应力,以及聚焦透镜在Z向(光轴)导轨不同位置的倾角。并且利用有限元法对调焦机构的静态稳定性分析,与有限元法的计算结果相对比,证明简化模型法的可靠性。