基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制

作者：康中波; 韩国威; 司朝伟; 钟卫威; 赵永梅; 宁瑾

来源：微纳电子技术, 2012, (07): 467-470.

• 射频微机电系统(RFMEMS)
• 滤波器
• 谐振原理
• 碳化硅
• 亚微米间隙 radio frequency micro-electro mechanical system(RF MEMS)
• filter
• resonance principle
• silicon carbide
• sub-micron gap

采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接两个结构尺寸和谐振频率完全相同的MEMS双端固支梁谐振器构成,MEMS谐振器的结构决定了滤波器的中心频率,弹性耦合梁的刚度决定了滤波器的带宽。在大气环境下测试器件的频响特性,得到中心工作频率为41.5MHz,带宽为3.5MHz,品质因数Q为11.8。

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 传感技术国家重点实验室