LED探针台重叠区域的图像处理

作者：霍杰; 田洪涛; 刘国敬; 宋婉贞

来源：电子工业专用设备, 2011, (05): 37-39+47.

• LED探针台
• 图像处理
• 重叠区域
• 重复数据
• 最优算法 LED Probestation
• image processing
• overlap
• duplicate data
• optimal algorithm

LED探针台使用面阵相机对晶圆上的管芯图像数据采集时,两屏之间存在重叠区域,造成大量重复图像数据[1]。为了消除重复的采集数据以及对处理后的数据进行排序,对两种数据处理方法进行比较,经过大量的实验证明,得出最优算法。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所