MOCVD(金属有机化合物气相沉积)设备是LED产业的核心关键设备,技术长期被国外企业垄断。近期,我国在MOCVD装备领域取得了可喜的突破,涌现出了多家各具技术特色和优势的MOCVD装备研发企业,目前已有企业的自主装备产品成功下线交付客户。但目前国产MOCVD装备产业化仍面临着较为严重的瓶颈障碍,亟待有效的政策破解。
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