TiN/Ti多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究

作者：龚海飞; 邵天敏; 张晨辉; 徐军

来源：无机材料学报, 2008, (04): 758-762.

• TiN/Ti
• 多层膜
• 层状结构
• 摩擦磨损 TiN and Ti
• multilayer coating
• layer structure
• friction and wear

考察了TiN/Ti多层膜调制比对其摩擦磨损行为的影响.采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同调制比的TiN/Ti多层膜,用扫描电镜和透射电镜对其层状结构及子层结构进行了观察和分析.用纳米压痕和SRV摩擦磨损试验的方法,对多层膜进行了纳米硬度和弹性模量测试以及摩擦磨损实验.结果表明,所制备的TiN/Ti多层膜层状结构清晰,与基底结合良好,调制比对多层膜的硬度和磨损特性影响较大,而对摩擦系数的影响却不明显.结合实验结果,讨论了硬度与弹性模量的比值(H/E值)对TiN/Ti多层膜耐磨性的影响.

• 单位
  摩擦学国家重点实验室