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摘要
为了提高应变式薄膜传感器的应变性能，基于304不锈钢基底薄膜传感器的研究，选取比304不锈钢更易感应应变的1060铝和H62黄铜作为应变式薄膜传感器基底，并计算设计了相应尺寸。通过溅射制备可以增强基底与绝缘层黏结性能的Al2O3过渡层，经XRD分析以及共聚焦显微镜观测发现，由于H62黄铜表面氧化缺陷导致无法形成非晶态的Al2O3薄膜，会造成开裂脱落，故优先选取1060铝制备Al2O3薄膜，对其工艺参数进行优化，得到优化后的制备工艺参数为溅射压强为0.8Pa、氩气流量为55sccm及基底偏压为-40V,在1060铝基底上制备的Al2O3薄膜粗糙度较优化前减少了11.36%。
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