低温等离子体技术因其高效的去除效率以及较低的运行成本,已被广泛应用于VOCs脱除工艺。首先介绍了低温等离子体去除挥发性有机物的工作原理,其次分析了低温等离子体去除挥发性有机物技术的影响因素,详细阐述反应器电极形状尺寸、放电间隙、气流速度、催化剂等因素对该技术脱除效率的影响作用,最后对低温等离子体技术的发展方向进行了展望。