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摘要
本发明公开了一种皮米量级分辨力的微位移测量系统及测量方法,该系统包括探针模块、光路模块、静态锁相放大处理模块、上位机采集处理模块和微位移驱动模块,其中探针模块包括：测量FBG传感器、匹配FBG传感器、精密不锈钢针管、外部支架；光路模块包括：ASE宽带光源、第一环形器、第二环形器、InGaAs光电探测器；上位机采集处理模块包括：数据采集卡、计算机；微位移驱动模块包括：压电陶瓷纳米定位器、压电陶瓷驱动器、三维精密微动台。本发明能实现对微位移的检测,具有皮米量级的微位移测量分辨力,以及纳米量级的灵敏度和较低的噪声水平,从而具有对测量环境干扰的鲁棒性较强,工作稳定、性能较好且成本较低的优点。
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