利用调制式椭偏仪测量薄膜电光系数

作者：李芳; 王杰; **阳; 莫党; 陈王丽华

来源：红外与毫米波学报, 2005, (01): 31-33.

• 电光系数
• 椭偏仪
• PLZT薄膜
• 光学性质 electro-optic index
• ellipsometer
• PLZT thin films
• optical properties

利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数.首先用反射椭偏测量的方法得到薄膜的折射率(n)和厚度(d),然后利用透射椭偏在线测量的功能,在样品上加电场(E),得到薄膜的折射率的改变δn. 最后用测量得到的厚度,折射率以及折射率的改变来计算薄膜的电光系数.该仪器的灵敏度很高,很适合较薄的膜层材料电光性质的测量.

• 单位
  光电材料与技术国家重点实验室; 香港理工大学; 中山大学