光刻机运动台系统建模与优化

作者：陈文枢

来源：电子技术, 2019, 48(01): 44-46.

• 集成电路制造设备
• 光刻机
• 运动台
• 系统建模

根据运动台的结构模型,提出运动台系统建模与优化方法,并将建模仿真结果与实际测试结果进行比对。结果表明仿真模型基本上能体现运动台系统的结构动态特性,从而验证仿真模型的准确性。