基于磨砂玻璃压印的压阻式柔性压力传感器

作者：李明星; 姚佳楠; 刘江; 李若舟^*; 方玉明

来源：固体电子学研究与进展, 2021, 41(02): 154-159.

DOI：10.19623/j.cnki.rpsse.2021.02.014

• 柔性压阻传感器
• 导电复合材料
• 微结构
• 灵敏度
• 迟滞性

柔性压阻传感器结构简单、电阻变化范围宽、灵敏度高,在电子皮肤和医疗健康检测等领域受到广泛的关注和研究。使用不同目数的磨砂玻璃作为模具制备了具有微结构的多壁碳纳米管(MWCNT)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)导电复合材料,并实现了微结构柔性压阻传感器。研究表明,目数最小(微结构尺寸为125μm)的磨砂玻璃制备的传感器具有最高灵敏度(7.4 kPa-1),并且该传感器具有低于15%的迟滞性,13 ms的快速响应时间,低于90 Pa的低压检测能力以及在不同压力大小下稳定的输出响应。该方法制备的柔性传感器结构简单且成本低,具有较好的应用价值。

• 单位
  南京邮电大学