n型掺杂ZnS准一维纳米结构薄膜光电导型紫外探测器及制备方法

作者：于永强; 揭建胜; 蒋阳; 朱志峰; 江鹏

来源：2011-06-28, 中国, CN201110176236.7.

本发明公开了n型掺杂ZnS准一维纳米结构光电导型紫外探测器及制备方法,其特征是紫外探测器自上而下依次由叉指电极,n型掺杂ZnS准一维纳米结构薄膜和绝缘衬底迭置而成。本发明紫外探测器以n型掺杂ZnS准一维纳米结构薄膜为紫外敏感层,使其只对小于335nm波长光敏感,利用透明叉指电极和纳米结构薄膜增强了受光面积,提高了紫外光响应度,同时使用ZnS做为光敏材料,环保可靠。本发明结构简单,灵敏度高,成本低,易于实现。

• 单位
  合肥工业大学