<正>(接2015年第3期第80页)电子e在电场E作用下被加速,在飞向基体的过程中与Ar气原子发生碰撞,若电子具有足够的能量(约30 e V),则电离出Ar+和一个e,电子飞向基片,Ar+在电场E作用下加速飞向阴极靶并以高能量轰击靶表面,使靶材产生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子(或分子)沉积在基片上形成薄膜。同时被溅射出的二次电子在阴极暗区被加速,在飞向基片的过程中,落入正交电磁
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