光学夹具热变形对镀膜质量影响分析

作者：秦思远; 杨晓京^*; 谢启明; 李刚; 董力

来源：农业装备与车辆工程, 2021, 59(08): 5-25.

• 单晶锗
• 光学夹具
• 六面折射转鼓
• 热应力
• 真空镀膜实验

红外热像仪成像的精确性及平滑性主要取决于六面折射转鼓膜层性能,而膜层质量与镀膜时产生的热变形及热应力有关。以六面折射转鼓夹具为例,利用ANSYS有限元软件对光学夹具在特定工况温度条件进行了仿真分析。分析可知转鼓最大变形量为0.14mm,热应力10.28MPa。实验表明,镀膜后的六面折射转鼓在8～12μm波长平均透过率为94.5%,符合设计要求,验证了光学夹具在特定工况下的热结构适应性。

• 单位
  云南北方驰宏光电有限公司; 昆明理工大学