基体温度对磁控溅射CrN涂层微观结构和性能的影响

作者：齐东丽; 宋健宇; 沈龙海

来源：热加工工艺, 2018, 47(18): 158-161.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2018.18.040

• CrN
• 磁控溅射
• 微观结构
• 力学性能
• 摩擦磨损性能

采用直流反应磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面沉积Cr N涂层,利用SEM、XRD、显微硬度仪、划痕仪和摩擦磨损试验仪研究了基体温度对涂层组织结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响。结果表明,Cr N涂层主要呈现出fcc结构,并存在(111)晶面择优取向,基本温度为100℃时制备的涂层(111)和(220)取向竞争生长,300℃时制备的涂层(200)晶面生长增强;涂层的表面晶粒主要呈现三棱锥形貌;基体温度对涂层的力学性能影响较大,300℃时制备的涂层显微硬度和结合力的最高值分别达到1900 HV和50 N;涂层磨损率随基体温度的升高而降低。

• 单位
  沈阳理工大学