双频大气压冷等离子体射流制备TiO2的表面形貌研究

作者：袁强华; 李洋; 张亚东; 鉴霄阳

来源：西北师范大学学报(自然科学版), 2018, 54(02): 43-48.

DOI：10.16783/j.cnki.nwnuz.2018.02.008

• 双频大气压冷等离子体射流
• 二氧化钛薄膜
• 表面形貌

利用N2携带先驱体钛酸异丙酯,通过双频驱动的Ar/O2大气压冷等离子体制备了TiO2薄膜,探究了不同放电参数对TiO2表面形貌的影响.研究结果表明,不同的放电参数可以制备出纳米纤维状、球状和塌陷的球状不同形貌的TiO2.制备的TiO2包含锐钛矿相和金红石相.同时利用光谱仪和射频分析仪对离子体的光学特性和电学特性进行了检测.

• 单位
  电子工程学院; 西北师范大学