<正>随着半导体工业、生物医学等领域的迅猛发展,人们对纳米尺度物体的形貌表征需求与日俱增。传统光学显微镜受到光的衍射效应的制约,其分辨率极限为200 nm左右。然而,目前光学微球纳米显微镜受限于其放大率和数值孔径,通常需要在液体或固体浸没环境中才能够观察到亚50nm尺度的样品结构,这在一定程度上限制了它的应用范围。为了突破这些限制,进一步提高成像分辨率,我们团队提出了一种特殊设计制造的微球透镜组,
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