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摘要
本发明公开了一种气膜形状可变的主动气浮轴承装置,包括气浮轴承本体和压力控制单元,其中气浮轴承本体主要由上本体和下本体两部分组成,压力控制单元主要由作动单元和检测单元两部分组成,作动单元根据检测单元的检测的压力信号生成控制信号改变腔室内的压力,柔性铰链结构在上下压力差作用下变形改变气浮轴承气膜形状,达到控制气膜间隙压强分布的目的,从而改善气浮轴承动力学特性。本发明不仅可以显著改善气浮轴承动力学特性,而且可以有效衰减气浮轴承的微振动,实现气浮轴承的高稳定性；此外,按照本发明的气膜形状可变的主动气浮轴承具有高稳定性和高精度等优点,因此尤其适用于半导体设备和微/纳机电系统等领域。
- 单位
