复合澄清剂在TFT基板玻璃熔制过程中的作用机理

作者：黄依平; 舒众众; 曹志强^*; 张晓东; 张冲; 金良茂; 沈玉国

来源：硅酸盐通报, 2021, 40(11): 3799-3806.

DOI：10.16552/j.cnki.issn1001-1625.2021.11.021

• 复合澄清剂
• 基板玻璃
• 浮法熔制工艺
• 高温熔融动态观察
• 梯度澄清
• 协同澄清

针对当前薄膜晶体管(TFT)基板玻璃熔制过程中澄清剂作用机理认识不足的问题,采用模拟TFT基板玻璃浮法熔制工艺与高温熔融动态观察相结合的方式,研究了SnO2、CaSO4、NaCl等单一和复合澄清剂在熔制过程中的适用温度、澄清效果等,对基板玻璃热学性能、玻璃块体中Na+含量与NaCl澄清剂使用量的关系进行探讨。结果表明:SnO2单一澄清剂的适宜用量为0.10%(质量分数);复合澄清剂中0.10%(质量分数)SnO2+0.35%(质量分数)CaSO4形成的梯度澄清效果最佳;复合澄清剂SnO2+NaCl构成协同澄清,澄清效果随NaCl用量的增加而提高,但NaCl澄清剂的使用量应不高于0.076 3%(质量分数),以满足基板玻璃对残留碱金属离子含量的严格要求。以上研究成果对改善TFT基板玻璃熔制质量和产品品质具有重要的参考意义,有利于相关工业化生产降本增效。

• 单位
  浙江大学; 蚌埠中光电科技有限公司; 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司