电容式湿度传感器读出电路的设计

作者：肖小霞; 魏榕山

来源：中国集成电路, 2019, 28(05): 34-93.

• 电容式湿度传感器
• 电容数字转换器
• Sigma-Delta调制
• Zoom-in技术

本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路,实现对湿度电容信号到数字信号的转换,即电容数字转换器(CDC)。该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换,同时采用Zoom-i n技术,减少参考电容的大小,扩展电容测量范围。本设计采用SMI C 0. 18μm CMOS工艺,电源电压为1. 8 V,采样时钟频率为250 KHz。仿真结果表明该调制器精度达到13 bi t,整个调制器共消耗电流为180μA,输入电容的共模范围为0-8pF,动态范围为-0. 26 pF～+0. 26 pF。