本文研究了ISO10110-5表面面形评价参数的算法,建立了与ISO10110-5相应的数字波面分解模型;运用自编的波面拟合程序,完成了泽尼克系数、赛德像差系数、峰谷值、均方根值等常用评价参数和ISO10110-5中提出的弧矢误差、不规则误差、旋转对称不规则误差等参数的计算;通过对同一组波面数据的分析比较,自编程序的计算结果与ZYGO干涉仪的输出结果相一致。
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