基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计

作者：朱文武

来源：佳木斯大学学报(自然科学版), 2019, 37(01): 67-69.

• FPGA
• 石英晶体监控
• 测量膜厚
• PID控制

通过以CYCLONE EP2C35 FPGA芯片为平台,有机地结合嵌入式软件设计和光学镀膜技术,运用石英晶体监控法,通过采集石英晶体监控的信号数据,采用测量膜厚算法和PID控制算法进行综合处理,在Nios Ⅱ IDE开发环境集成的C/OS-Ⅱ嵌入式操作系统下,设计薄膜厚度监测控制系统的镀膜监控菜单显示界面,实现基于FPGA的薄膜厚度监测控制系统。

• 单位
  安徽机电职业技术学院