铜化学机械抛光的弱缓蚀剂研究

作者：徐浩; 宋恩敏; 卞达; 赵永武^*

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2021, 41(05): 32-39.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2021.5.0006

• 铜
• 弱缓蚀剂
• 聚乙烯吡咯烷酮
• 混合缓蚀剂

利用电化学、接触角、化学机械抛光等试验研究一种新型环保的铜缓蚀剂聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone, PVP)的效果。结果表明:PVP在铜化学机械抛光中具有一剂多用的效果,将其与另一种环保弱缓蚀剂1,2,4–三氮唑(1,2,4–triazole, TAZ)混合使用,既能保证平坦化效果,又能实现工业生产所需的低压高去除率抛光,在粗糙度为2.28 nm时,去除率达到1 291 nm/min。

• 单位
  江南大学