微机械压力传感器残余应力研究进展与分析

作者：刘沙皓伦; 邢维巍; 李昊霖; 邹梦启

来源：传感器与微系统, 2018, 37(10): 1-11.

DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)10-0001-04

• 微机械
• 压力传感器
• 残余应力
• 性能

对微机械压力传感器中的残余应力研究进展进行了综述。概述和总结了国内外微机械压力传感器的研究进展和存在问题,分析了残余应力对传感器的零点失调、零点温度系数、输出非线性和输出频率等方面的影响,总结了材料属性、加工温度等因素对残余应力的影响,展望了残余应力测量的发展和趋势。指出可以通过结构设计的优化等方式控制或利用残余应力,达到提高稳定性的目的。

• 单位
  北京航空航天大学