AlGaN/GaN非凹槽混合阳极SBD射频性能及建模

作者：刘芷诫; 郑英奎; 康玄武; 孙跃; 吴昊; 陈晓娟; 魏珂

来源：半导体技术, 2021, 46(05): 358-364+381.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.05.004

• GaN
• AlGaN/GaN异质结
• 肖特基势垒二极管(SBD)
• 混合阳极
• 微波输能

基于大功率微波输能的需求,制备了新型AlGaN/GaN非凹槽混合阳极肖特基势垒二极管(SBD)。对新型结构的器件进行了小信号建模,可用于微波输能电路设计。通过开路、短路去嵌结构法从小信号S参数中提取了器件的寄生电容、电感和电阻,结合去嵌后的S参数与直流I-V、C-V特性曲线提取了器件的本征参数。综合寄生和本征参数建立了器件的小信号模型,将模型仿真结果与器件的实测结果进行了对比,同时引入误差因子评估了模型的准确度。结果表明,在0.1～10 GHz内,回波损耗相对误差小于4.1%,插入损耗相对误差小于3.7%,验证了所提出模型的可行性和准确性。

• 单位
  中国科学院微电子研究所; 中国科学院大学