溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的研究

作者：刘英; 王兵; 王速

来源：电子测试, 2016, (16): 160+156.

DOI：10.16520/j.cnki.1000-8519.2016.16.086

• WO3纳米薄膜
• 溶胶-凝胶法
• 气体敏感 Nano-WO3 thin film
• sol-gel
• gas sensing properties

本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法,在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜,于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试,观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着对NO2、H2、乙醇等气体进行敏感测试,测试证明薄膜对H2、乙醇敏感性较差,对NO2敏感性良好。

• 单位
  广东宁源科技园发展有限公司