EDS和EELS测定锆合金中锆氧化物的氧含量对比

作者：张诚; 宋西平^*

来源：理化检验.物理分册, 2018, 54(10): 733-753.

• 透射电镜
• 锆氧化物
• 氧含量
• X射线能量分散谱仪
• 电子能量损失谱仪

分别采用X射线能量分散谱仪(EDS)和电子能量损失谱仪(EELS)对锆合金中析出的锆氧化物相的氧含量(原子分数)及分布进行了测试,并对测试结果进行了对比。结果表明:EELS测得的锆氧化物中的氧含量为67.1%,与ZrO2的氧含量接近(66.7%),而EDS测得的锆氧化物中的氧含量仅为30.1%,与ZrO2的氧含量相差甚远;经过选区电子衍射花样标定,该锆氧化物为ZrO2相,与EELS分析结果一致,因此利用EELS技术测定氧含量具有更高的精确度和可靠性,EELS可以用于氧化物的直接标定;同时,利用EELS成像可以清晰地显示出氧元素的偏聚状态,而EDS成像未能显示出氧元素的偏聚状态。

• 单位
  北京科技大学